臭氧水處理的優點：
1 臭氧是優良的氧化劑 ，可以殺滅抗氯性強的病毒和芽孢；
2 臭氧消毒受污水 PH 值及溫度影響較小；
3 臭氧去除污水中的色、嗅、味和酚氯等污染物，增加水中的溶解氧，改善水質。
4 臭氧可以分解難生物降解的有機物和三致物質，提高污水的可生化性。
5 臭氧在水中易分解，不會因殘留造成二次污染。
臭氧消毒殺菌菌機理：臭氧滅菌的過程屬于生物化學反應，臭氧滅菌有以下三種形式：
①臭氧氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖氧化酶；
②直接與細菌、病毒發生作用，破壞其細胞壁DNA和RNA，分解蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質代謝生長和繁殖過程遭到破壞；
③滲透細胞膜組織，侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透性畸變，導致細胞的溶解死亡，并且將死亡菌體內的遺傳基因，寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原（細菌病毒代謝產物、內毒素）等溶解變性滅亡。由水落石出，臭氧滅菌屬于溶菌，是一種滅菌方式中最徹底的形式。既然臭氧能殺死病毒、細菌，那么會不會也把健滿面的細胞殺死呢？不會，因為健康細胞具有強人的平衡酶系統，因而臭氧對健康細胞無害。
城市生活污水污染物存在著很多污染物及細菌病毒，傳統的污水處理方法，多數是使用氯制劑消毒殺菌。氯制劑具有較強的氧化性能，能氧化有機污染物，化污水為無害。現代都市污染物越來越多，成份越來越復雜。氯對污水的處理則變得更加困難，現代污水處理方法對處理工藝提出更高要求，氯很難滿足污水處理要求。在自來水凈化行業，國外自來水全面使用臭氧+碳吸附技術代替氯作為消毒劑。臭氧用于自來水、礦泉水，桶裝水消毒時具有極高的殺菌率，但在生活污水及工業廢水消毒時往往需要較大的臭氧投加量和較長的接觸時間。主要原因在于污水的成份大量消耗臭氧、降低臭氧殺菌能力。因此，必須在加大臭氧發生器產量，增加臭氧投加量和消毒時間，保證臭氧消毒效果。
為保證污水消毒處理效果，選購大型臭氧發生器，應考慮臭氧產量和出口濃度，臭氧濃度高殺菌消毒效果更好。而臭氧量、出口濃度等與臭氧發生器的品質和氣源有很大關系，如臭氧發生器的介電材質，冷卻方式，氣源干燥潔凈程度均會影響到臭氧發生器臭氧濃度與臭氧量。臭氧消毒所需要的接觸時間是很短的。通常20~30分鐘臭氧就發揮其消毒作用。過后臭氧會自動分解成氧氣和水，無殘留污染。
